洛阳四氟化碳 郑州

电子级四氟化碳是目前半导体行业主要的等离子体蚀刻气体之一，主要用于硅、二氧化硅、氮化硅、金属硅化物以及某些金属的蚀刻。在低温制冷、电子器件表面清洗和气相绝缘等方面被广泛应用。我院具备年产200吨CF4的生产能力，生产工艺及设备均处于国内领 先地位，且以生产5N规格的产品为主。稳定销往韩国、闽台等地区。
　　产品特性：
　　四氟化碳是目前半导体行业主要的等离子体蚀刻气体之一，主要用于硅、二氧化硅、氮化硅、金属硅化物以及某些金属的蚀刻。
　　黎明院是国内研究开发生产工艺的单位，致力于含氟电子特气的研究，取得数十项技术研究及革新成果，曾获全国科学大会奖，并主编工业级、电子级国家标准。
　　黎明院在制氟及氟化物生产行业的综合技术实力达到了国内领 先水平，产品质量达到国际先进水平。在电解制氟、合成、提纯、“三废”处理等工艺技术领域具有四十多年的科研和生产经验，拥有多项核心技术，累计申报国家**17项。工业产品已经连续多年获得“河南省名 牌产品”称号。
　　近年来，黎明院电子级、、四氟化碳、六氟化钨等含氟特种气体的研发也取得了丰硕成果，其中*的处于国际先进水平的新型电解技术可实现直接一步反应生产，其产品指标达到国际先进水平。**高纯、四氟化碳的研发列入国家重大专项课题“02专项”， 重点开发满足半导体集成电路领域使用的更高纯度含氟电子气体。
黎明化工研究设计院有限责任公司