电子级六氟化钨 六氟化钨

电子级六氟化钨：用于半导体产业中晶圆生产过程的外延片的钨沉积。
　　近年来，黎明院电子级、、四氟化碳、六氟化钨等含氟特种气体的研发也取得了丰硕成果，其中*的处于国际先进水平的新型电解技术可实现直接一步反应生产，其产品指标达到国际先进水平。**高纯、四氟化碳的研发列入国家重大专项课题“02专项”， 重点开发满足半导体集成电路领域使用的更高纯度含氟电子气体。
　　2016年6月，黎明院建设的1000吨/年项目，全面建成并达到设计能力，黎明院成为中国*二大生产商，二期1000吨/年正实施中。该项目实现技术与市场的强强联合……
　　2016年4月，黎明院获批设立含氟电子气体河南省工程实验室，将实现主要含氟电子气体产品的国产化，建成在国际上有一定影响力的含氟电子化学品创新平台，开展技术研究、成果转化和技术辐射，为集成电路、平面显示器件、半导体器件、太阳能电池等电子工业发展提供强力支撑。
　　未来几年，黎明院继续加大研发和产业化力度，肩负起电子气体材料国产化的重担，逐步由生产商向国内的生产+综合气体供应商转型发展，满足国内外相关领域发展的需求。
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